Modulares Mikroskopsystem zur optischen Inspektion

Qioptiq erweitert sein Mikroskopsystem mag.x system 125 um Komponenten zum automatischen Fokussieren.

(Bild: Qioptiq)

Das modulare System für die optische Inspektion unterstützt moderne hochauflösende Sensoren bis 57 mm Durchmesser und erreicht Auflösungen im Submikrometerbereich. Diese optische Leistung beruht auf Objektiven mit einer hohen numerischen Apertur und einer großen Eintrittspupille. Das neue, optionale integrierte Autofokusmodul ermöglicht im automatisierten industriellen Umfeld die genaue Fokussierung, die bei derart hohen Auflösungen essenziell ist.

Die Lösung findet ihren Einsatz bei diversen Anwendungen, u.a. der Qualitätskontrolle in der Fertigung von Displays, Leiterplatten, Wafern und Glas. Da das Mikroskopsystem große Flächen- und Zeilensensoren unterstützt, kann auf Stitching in vielen Fällen verzichtet werden, sodass kürzere Taktzeiten möglich sind.

Das Autofokusmodul enthält einen Piezo-Aktuator oder einen Schrittmotor zum Verfahren der z-Achse, die das Prüfobjekt im Bruchteil einer Sekunde bis auf wenige Nanometer genau fokussieren. Die Basiseinheit des Moduls koppelt den Laser des Autofokussensors in den Strahlengang ein. Der Autofokussensor und der Aktuator bilden zusammen ein geschlossenes System, das eine optimale Fokussierung in der Objektebene gewährleistet. Das in Deutschland gefertigte optische System erfüllt höchste Qualitätsansprüche.

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